仪器品牌: 日本精密
型号：SURFCOM 480A
量程/分辨率：80um/1nm, 800um/10nm, 8um/0.1nm

仪器应用：
主要用于材料表面膜层的测量。

样品要求：
膜层较为平整，基材平整。
膜层大于100nm。